该泵的外形呈扁方形，是由四个阶梯形活塞及四个阶梯形气缸组成。与电机直联的轴经过四根连杆带动四个活塞。活塞的反面空间由次级活塞抽气，以削减走漏和下降极限压力。

  每个气缸都有进气阀与排气阀。四个活塞组成三个紧缩级，为添加抽速，活塞 1 和活塞 2 是并联的，为便于泵在大气压力下的发动，设置了辅佐排气阀 1 ，当活塞 l 、 2 的排气压力高于大气压力时，有一部分气体经过阀 1 排入大气，当其排气压力小于大气压力时，则排出气体顺次进入第三个、第四个气缸紧缩后排出泵外。泵的紧缩比可到达 105 ，泵的极限压力可达 1.3Pa 。

  真空技术网：集真空工程理论，真空泵等真空设备的装置与运用，真空体系模块规划，真空阀门、真空密封、真空丈量、真空工业应用为一体的真空职业信息渠道!